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興福電子光刻膠用光引發劑即將投產

中化新網訊 近日,湖北三峽實驗室重大科技成果“光刻膠用光引發劑制備專有技術及實驗設備所有權”被湖北興福電子以4626.78萬元收購,即將投入生產。

在芯片制造過程中,光刻膠如同相機的“底片”,而此次轉讓的成果G/I線光刻膠用光引發劑的關鍵技術,則能決定光刻膠的感光度和分辨率。近年來,由于進口光引發劑不時面臨限購和斷供,國內多家光刻膠生產企業生產受阻。主攻芯片蝕刻電子級磷酸、電子級硫酸等產品的興福電子公司向以微電子新材料為主要研究方向的三峽實驗室提出研發需求。在歷經3年研發攻堅后,相關技術終于具備產業化條件。目前,該成果已進入產業化前期階段。

湖北三峽實驗室光刻膠用光引發劑項目負責人、博士周鋼翔表示:“我們主要面向國內成熟制程、芯片制造及面板制造行業。國內目前新能源汽車發展迅速,有大量的芯片都需要用到我們G/I線光刻膠,目前這款產品在國內的配方國產化率是最高的。”

湖北三峽實驗室主任池汝安表示:“我們實驗室一直都是企業出題、實驗室答題,把科研成果更好地轉化落地。以后,國內的光刻膠廠生產光刻膠的時候,不僅不受制于人,并且成本可以降低30%。”

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